技術紹介

TECH EXTENSIONは
東京工業大学未来産業技術研究所大場隆之研究室の成果を活用します。
技術の詳細については、大場研究室のサイトをご覧ください。 [リンク]

技術紹介

Thinning Module for Si, SiC, GaN,…Glass Substrates

Impacts of Thinning Damage on Device Characteristics

Bonding Module for Wafer/Chip on Wafer Stacking

Advantages of Bonding with an adhesive layer

Connecting Module by Via-last after Bonding Process

用語解説(Glossary)

WOWアライアンス	東京工業大学科学技術創成研究院異種機能集積研究ユニット（大場研究室）における産学研究プラットフォーム。半導体関連の設計・プロセス・装置・材料などを手がける企業、および研究機関によって構成される。三次元開発としては国内唯一300ミリウエハを利用した実証開発、高度かつ簡便なウエハの薄化技術・積層技術を持ち、バンプ（注６）レスTSV配線を用いた三次元化技術を世界で初めて開発に成功した。
台湾国立成功大学	1931年に創設された国立総合大学であり、台湾中南部で最難関大学として知られ、指定国立研究大学6校の一つである。英語: National Cheng Kung University (NCKU)、公用語表記: 國立成功大學。（Wikipediaより引用）
BBCube	Bumpless Build Cubeの略で、従来の平置きチップレットを三次元でコンパクトにまとめ、バンプを利用しないでシステムの小型化を可能にするアーキテクチャー。参考：Ohba, T.; Sakui, K.; Sugatani, S.; Ryoson, H.; Chujo, N. Review of Bumpless Build Cube (BBCube) Using Wafer-on-Wafer (WOW) and Chip-on-Wafer (COW) for Tera-Scale Three-Dimensional Integration (3DI). Electronics 2022, 11, 236. https://doi.org/10.3390/electronics11020236
次世代三次元集積技術	ウエハレベルで三次元集積を行う次世代半導体技術。 WOWアライアンスが保有する超薄化技術、バンプを除いた垂直配線技術で半導体の三次元集積を行い、従来よりも高性能・低消費電力を実現することができる。またサーバーなどの大規模演算デバイスだけでなく、搭載される異種機能デバイスシステムの超小型化が可能になる。
WOW技術	Wafer-on-Wafer技術の略で、ウエハ上にウエハを接合しながら接続配線し、何枚も積み上げることができる積層技術。 DRAMなど同一チップサイズのウエハ積層の生産性向上に大きく寄与します。
COW技術	Chip-on-Wafer技術の略で、チップレットをウエハ上に接合しながらＷＯＷ技術で接続配線する技術。チップをウエハ上に接合することにより、以降の半導体製造工程において、各種ウエハプロセス装置を用いた高精度な加工が行えるようになる。
HBM	High Bandwidth Memoryの略。 JEDECが規格化した、Through Silicon Via (TSV)技術によるダイスタッキングを前提としたメモリ規格である。（Wikipediaより引用）
DDR5	DDR5 SDRAM (Double Data Rate 5 Synchronous Dynamic Random-Access Memory)の略。半導体集積回路で構成されるDRAMの規格の一種であり、複数のDRAMチップをプリント基板上に搭載したメモリモジュール（DIMM = Dual Inline Memory Module）として、コンピュータの主記憶として利用される。前世代のDDR4 SDRAMと比較して、DDR5は消費電力を削減しつつ帯域幅が2倍になる。（Wikipediaより引用）
TSV	Through-Silicon-Viaの略で、シリコン（Silicon）ウエハを貫通（Through）させて開けた接続孔（Via：ビア）。上下に積層したチップを、埋め込み配線によって接続させる。最近では、シリコン材料以外にも配線するため、前工程における垂直配線（vertical interconnects）とした方が分かりやすい。